徠卡工業(yè)課堂 | 紫外成像應(yīng)用分享
發(fā)布時(shí)間:2026-01-30
紫外的應(yīng)用點(diǎn)紫外成像可以獲得比可見光成像更高的分辨率,能夠量測(cè)更小的尺寸及分辨更小的缺陷。廣泛應(yīng)用于晶圓和掩膜版關(guān)鍵尺寸(CD)測(cè)量及缺陷分析。(基于瑞利公式對(duì)比,基于紫外光和可見光波段相比,基于相同0.9NA物鏡對(duì)比)什么是關(guān)鍵尺寸晶圓/掩膜版的CD(關(guān)鍵尺寸),是芯?微結(jié)構(gòu)中...